小/微型压电马达的研究主要集中在1至5mm直径的柱状旋转压电马达，应用领域将包括相机、摄像机镜头的高精度快速自动聚焦系统、微型直升飞机、内窥镜驱动控制等，目前已经研发出4mm直径、2mm直径和1mm直径的压电驱动器。
（1）4mm直径低压驱动小型压电旋转马达
已开发的4mm直径低压驱动小型压电马达具有驱动电压低（约5V）、转速稳定、定位精度高(5角秒定位)、可实现单片双向旋转等特点。
 

（2）2mm直径单向压电旋转马达
已研发的2mm直径微型压电马达具有转速稳定，定位精度高(10角秒定位)，可单片双向旋转等特点。
 

（3）1mm直径微型压电旋转马达
已研发的1mm直径微型压电马达具有转动稳定，定位精度高(20角秒定位)，可单片双向旋转等特点。

 

（4）0.85mm直径压电微马达
该马达为目前世界上最小的压电微马达（截止2011年1月8日），具有比较良好的性能，而且已经实现低成本制作(低于$3)，转载请注明出处。